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时间: 2020年02月25日 03:56 | 来源: 花児在羙乜會謝゛ | 编辑: 乌雅欣言 | 阅读: 7671 次

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咱们在前期TEM有关内容现已介绍了透镜有关内容,TEM中包括多个磁透镜:聚光镜、物镜、中心镜和投影镜等。球差是由于磁镜的构造不完美形成的,那么这些磁镜组都会发生球差。当咱们纠正不一样的磁透镜就有了不一样品种的ACTEM。回想一下STEM的原理,当咱们运用STEM形式时,聚光镜集聚电子束扫描样品成像,此刻聚光镜球差是影响分辩率的首要原因。因而,以做STEM为主的TEM,球差校对设备会装置在聚光镜方位,即为AC-STEM。而当咱们运用image形式时,影响成像分辩率的首要是物镜的球差,此种校对器装置在物镜方位的即为AC-TEM。当然也有在一台TEM上装置两个校对器的,即是所谓的双球差校对TEM。此外,由于校对器有电压约束,因而不一样的类型的ACTEM有其对应的加快电压,如FEI TITAN 80-300 即是在80-300 kV电压下运转,也有专门为低电压装备的低压ACTEM。

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(乌雅欣言编辑《花児在羙乜會謝゛》2020年02月25日 03:56 )

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